Galbūt negirdėjote apie puslaidininkinius vakuuminius siurblius; šis tikslus prietaisas yra tikras „nematomas variklis“ puslaidininkių pramonės grandinėje. Jo technologiniai laimėjimai ir rinkos dinamika tiesiogiai veikia pasaulinės lustų gamybos efektyvumą ir našumą.
Puslaidininkinis vakuuminis siurblys yra specializuotas vakuuminis siurblys, naudojamas puslaidininkiniams įtaisams ir kitiems aukštųjų {0}technologijų gaminiams gaminti. Jame naudojama „sausa“ technologija-tai reiškia, kad siurblyje nenaudojama tepalinė alyva ar kiti skysčiai,-todėl pašalinamos problemos, susijusios su alyvos užteršimu ir nuotėkiu. Atsižvelgiant į jų veikimo principus ir konstrukcines konstrukcijas, puslaidininkinius vakuuminius siurblius galima suskirstyti į įvairius tipus, pavyzdžiui, sausus rotacinius siurblius, sausus sraigtinius siurblius, sauso slinkties siurblius, turbomolekulinius siurblius ir kriogeninius siurblius.
Puslaidininkiniai vakuuminiai siurbliai atlieka pagrindinį vaidmenį puslaidininkių gamybos procese. Tai universali įranga, plačiai naudojama įvairiuose etapuose, įskaitant plokštelių gamybą, pakrovimo{1}}užrakinimo operacijas, ėsdinimą, CVD (cheminį nusodinimą iš garų), ALD (atominį nusodinimą), pakavimą ir bandymus. Šiems specifiniams proceso etapams reikia labai švarios aplinkos arba griežtų veikimo sąlygų, kad būtų užtikrintas puslaidininkinių įtaisų veikimas ir našumas. Pastaraisiais metais pažangiems proceso mazgams žengiant link 3-nanometrų žymos-ir dar mažesniems-plokščių gaminiams eksponentiškai išaugo reikalavimai, susiję su vakuuminės aplinkos švara, siurbimo greičiu ir stabilumu. Ši tendencija paskatino puslaidininkinių vakuuminių siurblių technologinę evoliuciją, paskatinusią pereiti nuo tradicinių alyva sandarių konstrukcijų prie pažangių, visiškai magnetiškai levituotų sausų siurblių.
Puslaidininkinės vakuuminės sistemos turi tiesioginės įtakos tiek lustų kokybei, tiek gamybos efektyvumui. Tačiau puslaidininkiniams vakuuminiams siurbliams būdingos didelės techninės kliūtys patekti į rinką, kartu keliami griežti gaminio patikimumo, pritaikymo galimybių ir energijos vartojimo efektyvumo reikalavimai:
Patikimumas: vakuuminiams siurbliams, naudojamiems puslaidininkiuose, reikia nuolatinės priežiūros; todėl labai patikimi gaminiai gali sumažinti remonto dažnumą ir taip sumažinti kliento veiklos išlaidas. Paprastai vieno remonto incidento kaina sudaro maždaug vieną{1}}penktadalį visos įrangos vertės.
Pritaikymas: darbo sąlygos labai skiriasi skirtingose plokštelių gamybos linijose; todėl reikalingi sprendimai ir gaminio specifikacijos yra labai individualizuotos, todėl reikia aukšto lygio pritaikytų paslaugų.
Energijos vartojimo efektyvumas: puslaidininkių gamybos įrenginyje (FAB) su vakuumu{0}}susijusi įranga sunaudoja maždaug 20 % visos energijos. Todėl energijos vartojimo efektyvumo didinimas šiose sistemose gali žymiai sumažinti bendrą kliento energijos pėdsaką. Kalbant apie taikymą, puslaidininkiniai vakuuminiai siurbliai yra neatsiejami nuo kiekvieno puslaidininkių gamybos etapo. Šie etapai apima žaliavos tiekimo fazę-, įskaitant silicio luitų traukimą, pjaustymą, šlifavimą, oksidavimą ir fotokaukės išlyginimą-, taip pat lustų gamybos procesus, pvz., fotokaukės kūrimą, granulių uždėjimą, plokštelių auginimą, jonų implantavimą ir cheminį nusodinimą garais. Be to, jie yra būtini atliekant įvairius tolesnius veiksmus, įskaitant lustų pakavimą ir galutinio produkto bandymą. Kiekvienas iš šių etapų reikalauja tikslios aplinkos sąlygų kontrolės, kad būtų užtikrinta galutinio produkto kokybė ir eksploatacinės savybės.
Vakuuminiai siurbliai atlieka pagrindinį vaidmenį įvairiuose puslaidininkių gamybos etapuose, o konkretaus tipo vakuuminis siurblys naudojamas atsižvelgiant į unikalius kiekvieno proceso reikalavimus. Sausieji vakuuminiai siurbliai dominuoja puslaidininkių gamybos aplinkoje dėl savo ne-teršimo ir didelio prisitaikymo; tuo tarpu turbomolekuliniai siurbliai, „Roots“ vakuuminiai siurbliai ir panašūs įtaisai atlieka labai svarbų vaidmenį tam tikrose didelio{2}}vakuuminio ar vidutinio{3}}vakuumo srityse. Be to, dėl technologinės pažangos hibridinių vakuuminių siurblių sistemų naudojimas tampa vis labiau paplitęs siekiant patenkinti įvairius ir sudėtingus šiuolaikinių gamybos procesų poreikius.
Remiantis SEMI duomenimis, 2022 m. puslaidininkinės įrangos rinka pasiekė naują rekordą ir pasiekė 107,6 mlrd. USD rinkos dydį, o tai sudaro 21,63 % sudėtinį metinį augimo tempą (CAGR) nuo 2019 m. milijardo RMB 2022 m., o tai atspindi 12,77 % CAGR nuo 2019 m.
Remiantis skaičiavimais, gautais iš kelių tyrimų institucijų pateiktų duomenų, prognozuojama, kad pasaulinė puslaidininkinių vakuuminių siurblių rinka 2024 m. pasieks 19,6 mlrd. RMB, o 2025 m. – 21,6 mlrd. RMB. Tikimasi, kad šį augimą lems maždaug 4,5 mlrd. RMB (2024 m.) ir 50 mlrd. RMB (62 mlrd. RMB). maždaug 15,1 milijardo RMB (2024 m.) ir 16,0 milijardo RMB (2025 m.) įrangai pakeisti ir atnaujinti. Be to, numatoma, kad jungtinė puslaidininkinių vakuuminių siurblių rinka žemyninėje Kinijoje ir Taivane pasieks 8,6 mlrd. RMB 2024 m. ir 9,8 mlrd. RMB 2025 m., kurią sudarys maždaug 2,5 mlrd. RMB (2024 m.) ir 3,2 mlrd. 6,7 milijardo RMB (2025 m.) reikalinga įrangai pakeisti.
Šiuo metu puslaidininkinių vakuuminių siurblių rinkoje daugiausia dominuoja Europos ir Japonijos įmonės. Šie pagrindiniai žaidėjai yra „Atlas Copco“ (Švedija), „Edwards“ (įsigijo „Atlas“; JK), „Ebara“ (Japonija), „Pfeiffer Vacuum“ (Vokietija) ir „Kashiyama“ (Japonija). Pagrindiniai šio sektoriaus veikėjai yra Zhongkeyi ir Hanbell Precise Machinery. Vakuuminių technologijų srityje pirmaujančios tarptautinės įmonės gali pasigirti ilga istorija ir pažangiomis technologijomis; be to, jie išlaiko platų strateginį pėdsaką susijusiuose sektoriuose ir nuolat plečia savo rinkos dalį per susijungimus ir įsigijimus.
Remiantis turimais duomenimis, pasaulinėje puslaidininkinių vakuuminių siurblių rinkoje 2021 m. buvo ryški koncentracijos tendencija. Pažymėtina, kad „Atlas“ užėmė didžiausią rinkos dalį-siekdama 48 %-, taip parodydama savo dominuojančią padėtį šiame sektoriuje. Jai labai netrūko Pfeiffer, kuris užėmė 13 % rinkos dalį, o tai rodo, kad jis yra labai konkurencingas šioje pramonėje. Kitos tarptautinės bendrovės kartu užėmė 34 % rinkos dalies, o tai pabrėžia jų tebesitęsiamą svarbą pasaulinėje rinkoje. Verta paminėti, kad nors vietiniai gamintojai,{10}}tokie kaip Hanbell ir Zhongkeyi{11}}šiuo metu užima palyginti nedidelę rinkos dalį (iš viso tik 5 %), šis skaičius rodo laipsnišką vietinių įmonių augimą šioje aukštųjų technologijų srityje, joms vis labiau įsitraukiant į tarptautinę konkurenciją.
Remiantis Hanghangcha tyrimų centro atlikta analize, prognozuojama, kad pasaulinė puslaidininkinių vakuuminių siurblių rinka ateinančiais metais išliks tvirta, o paklausa visuose segmentuose turės teigiamų vystymosi tendencijų. Visų pirma, sparti besivystančių pramonės šakų, -pvz., daiktų interneto (IoT), debesų kompiuterijos ir didžiųjų duomenų- plėtra kartu su pajėgumų didinimo paklausa, kurią skatina pažangios procesų technologijos tradiciniame integrinių grandynų sektoriuje, atvėrė plačias rinkos galimybes puslaidininkinės įrangos pramonei, tuo pačiu plečiantis puslaidininkinės įrangos pramonei. vakuuminių siurblių rinka.